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硅靶广泛应用于光学、光电子、半导体、触摸屏等领域器件镀膜。

元素符号:Si
纯度:4N+
形状:平面靶；旋转靶
外观:深灰色，半金属
典范密度:2.32g/cm?
通例尺寸:平面靶: 500x500x30mm
旋转靶: L4000mm
其它尺寸可定制


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