氧化铟镓锌 (IGZO)是新型显示技术的要害氧化物半导体质料。在TFT中，可取代Si质料作为沟道层质料。其优异性能可使器件实现更高的区分率、超低功耗和低噪声，可用于制造新型高性能LCD和OLED显示器。
| 元素符号 | : | IGZO |
| 身分 | : | In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (原子比) 其它身分可定制 |
| 纯度 | : | 4N+ |
| 形状 | : | 平面靶；旋转靶 |
| 外观 | : | 亮灰色 |
| 典范密度 | : | ≥6.30g/cm? |
| 通例尺寸 | : | 平面靶: 单片靶材L300-1100mm 旋转靶: 单节靶材L300-700mm 其他尺寸可定制 |
粤公网安备 44180302000130号
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